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首頁-產品系統--納米壓印配套設備-GL MegaClean單片式兆聲波清洗設備
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簡要描述:GL MegaClean單片式兆聲波清洗設備基材尺寸大300mm直徑以下圓片清洗;單片掃描式毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗。
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納米壓印配套設備
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詳細介紹
GL MegaClean單片式兆聲波清洗設備主要用于晶圓清洗等工藝。
GL MegaClean單片式兆聲波清洗設備主要功能
●基材尺寸大300mm直徑以下圓片清洗
●單片掃描式毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗
●適用于清洗納米壓印基材表面
●適用于母模具表面無損清洗(兆聲波清洗)
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0532-67769322
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