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首頁-產品系統--納米壓印配套設備-150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預處理設備
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簡要描述:GL150 PreNIL & GL300 PreNIL,150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預處理設備,Cassette to cassette機械手自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。
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納米壓印配套設備
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詳細介紹
全自動納米壓印光刻基底預處理;
Cassette to cassette機械手自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能;
毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗;
旋涂勻膠,包含自動供膠系統、EBR、BSR等功能;
熱板烘烤、冷板冷卻功能;
可選配Plasma表面處理功能。
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0532-67769322
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